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屈曲型数字微镜结构的机电动力学分析
屈曲型数字微镜结构的机电动力学分析
来源 :应用力学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangxc0398
【摘 要】
:
设计一种基于压杆屈曲原理的数字微镜装置,针对该装置建立机电动力学模型,应用龙格-库塔法和有限元数值方法求解其动力学模型中的隐函数.通过对该模型的完整机电动力学微分方
【作 者】
:
贾建援
范国滨
陈贵敏
【机 构】
:
西安电子科技大学
【出 处】
:
应用力学学报
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
屈曲型数字微镜结构
压杆屈曲原理
机电动力学模型
数值仿真
连续角位移曲线
光束稳定性
buckling
microstructure
electromec
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设计一种基于压杆屈曲原理的数字微镜装置,针对该装置建立机电动力学模型,应用龙格-库塔法和有限元数值方法求解其动力学模型中的隐函数.通过对该模型的完整机电动力学微分方程数值求解所作的运动仿真,得到了微镜基板的连续角位移曲线,表明该装置具有良好的光束稳定特性.
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