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半导体技术的新领域——掺稀土元素半导体材料
半导体技术的新领域——掺稀土元素半导体材料
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhouyu_yy
【摘 要】
:
扼要介绍了掺稀土元素半导体材料的发展历程,用稀土元素作掺杂剂的意义与问题,掺稀土元素的硅和掺稀土元素的Ⅲ-Ⅴ族化合物的研究现状及发展前景。
【作 者】
:
杨遇春
【机 构】
:
有色金属研究总院
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1996年6期
【关键词】
:
掺稀土元素
半导体材料
掺饵硅
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扼要介绍了掺稀土元素半导体材料的发展历程,用稀土元素作掺杂剂的意义与问题,掺稀土元素的硅和掺稀土元素的Ⅲ-Ⅴ族化合物的研究现状及发展前景。
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