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在研究电火花加工机理的基础上，基于有限元原理，建立了电火花连续脉冲放电磨削聚晶金刚石复合片时的物理模型，对磨削过程工件表面的温度场、应力场分布及工件材料的变形规律进行了模拟分析。研究了脉冲宽度及峰值电流对温度场、应力场分布及复合片变形量的影响规律。结果表明，有限元法是分析大面积聚晶金刚石复合片电火花磨削过程中温度场、应力场及变形的一种有效方法，其计算结果可用来指导制定合理的加工工艺参数以提高加工质量和加工效率。