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在单晶硅本身存在温度梯度条件下，实验观察到施主杂质磷在硅中的扩散系数比在恒温扩散炉条件下的扩散系数大得多。文中对这种异常扩散现象进行了讨论。
温度梯度下磷在硅中的扩散
【摘 要】
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在单晶硅本身存在温度梯度条件下，实验观察到施主杂质磷在硅中的扩散系数比在恒温扩散炉条件下的扩散系数大得多。文中对这种异常扩散现象进行了讨论。
【机 构】
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北京师范大学低能核物理研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1994年06期
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