【摘 要】
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<正> 本专利提供一种新颖的网格状红外探测器列阵,它由许多个陶瓷支柱(例如,BST)组成,这些陶瓷支柱都是用独特的模制方法和新颖的材料制备而成的。其制备步骤是这样的,先用离
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<正> 本专利提供一种新颖的网格状红外探测器列阵,它由许多个陶瓷支柱(例如,BST)组成,这些陶瓷支柱都是用独特的模制方法和新颖的材料制备而成的。其制备步骤是这样的,先用离子方法在陶瓷支柱正面周围铣出一条浅的刻蚀阻止槽,然后在该槽中填一层刻蚀阻止材料(如,pary-lene)。在刻蚀阻止材料上面架设一层抬高的膜层(如,聚酰亚胺),然后再涂一层光学涂层(如,透明的金属层(54)、透明的有机层(56)以及导
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