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多氟代季戊四芳醚的合成及其在低介电薄膜中的应用
多氟代季戊四芳醚的合成及其在低介电薄膜中的应用
来源 :有机化学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xrp880823
【摘 要】
:
合成了六个多氟代季戊四芳醚类化合物,并且对部分化合物掺杂于SiO2薄膜的介电性质进行了研究。当氟原子掺杂浓度(R/Si)为1%时,薄膜介电常数K值小于3。
【作 者】
:
周峥嵘
徐伟
【机 构】
:
复旦大学化学系,复旦大学材料科学系
【出 处】
:
有机化学
【发表日期】
:
2000年5期
【关键词】
:
多氟代季戊四芳醚
氟掺杂SiO2薄膜
合成
tetrapolyfluoroaryl ether of pentaerythritol
fluorine - d
【基金项目】
:
教育部重点科技项目资助
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合成了六个多氟代季戊四芳醚类化合物,并且对部分化合物掺杂于SiO2薄膜的介电性质进行了研究。当氟原子掺杂浓度(R/Si)为1%时,薄膜介电常数K值小于3。
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