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本文介绍一种简便的薄膜厚度测量方法.可在普通的光切显微镜上,利用光切原理测量薄膜厚度.能测量0.8～80微米的薄膜厚度.
薄膜厚度测量研究
【摘 要】
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本文介绍一种简便的薄膜厚度测量方法.可在普通的光切显微镜上,利用光切原理测量薄膜厚度.能测量0.8～80微米的薄膜厚度.
【机 构】
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中国计量学院计量技术工程学院
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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2001年2期
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