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新型功能材料及器件向小型化，集成化和复合化发展的趋势，使得尺寸在纳米尺度的层状材料和柔性多层器件在使用过程中的服役行为成为其发展的关键科学问题。本文结合作者近几年对Ag／M系列和Cu／M系列多层膜力学性能的研究工作，对金属纳米多层膜的微结构特征及其对力学性能的影响进行了回顾和总结，主要包括多层膜的晶粒形貌对其强化机制和塑性变形行为的影响，组元强度错配对多层膜硬化行为的影响，界面结构与其强度极值的关系、不对称界面结构引起的异常弹性模量增强和多层膜的室温蠕变机制及界面结构埘蠕变性能的影响等几个方面，并对多层膜