论文部分内容阅读
概述了进入后摩尔时代的MEMS技术,通过TSV技术整合MEMS与CMOS制程,使得半导体与MEMS产业的发展由于技术的整合而出现新的商机。主要介绍了MEMS器件封装所面临的挑战及相应的封装设备。
MEMS封装技术及设备
【摘 要】
：
概述了进入后摩尔时代的MEMS技术,通过TSV技术整合MEMS与CMOS制程,使得半导体与MEMS产业的发展由于技术的整合而出现新的商机。主要介绍了MEMS器件封装所面临的挑战及相应的
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2010年09期
其他文献
介绍了利用子系统的级联、反馈及电路仿真手段设计有源二阶滤波器简便方法。给出了电路参数选取的技巧。对反馈电路的接入点选择;系统传递函数的计算与验证都给出了详细的分
《我的爱将与你相伴终生》是中国歌剧《木兰诗篇》中一个十分经典的唱段,《木兰诗篇》是由剧作家刘麟作词,作曲家关峡作曲的大型情景交响歌剧,其内容主要取材于北朝乐府名歌
变应性真菌性鼻 -鼻窦炎是一个近 2 0多年才被认识的一个特征性疾病实体 ,为慢性鼻 -鼻窦炎鼻息肉病的一个特殊类型。其临床表现并无特异性 ,但有典型的 CT和 MRI影像学所见
目的研究艾滋病机会性感染的临床特点和相关情况。方法对200例艾滋病患者的临床资料进行回顾性分析。调查的过程中首先需要对患者进行病原学检验,观察分析患者的感染种类、感
<正>贵州省人民政府文件黔府发〔2013〕26号各市、自治州人民政府,贵安新区管委会,各县(市、区、特区)人民政府,省政府各部门、各直属机构:根据国家实施美丽乡村建设要求,按
<正>1临床资料患者,女,24岁,主因颈前肿块发现2月余入院。患者2个月前触摸颈部时发现颈前可扪及一个肿块,如"板栗"大小,不痛,无任何不适。2个月来肿块稍有增大,至人院时已如"
<正>积极参与社会治安综合治理,促进平安社区建设是工商行政管理在新的历史时期面临的一项新任务。2008年11月,重庆市大渡口区被国家工商总局确定为总局社会治安综合治理联系
本文主要介绍了一种大电流长脉宽半导体激光器驱动电源的设计方法。根据大功率脉冲型LD的工作特性,作者设计了一套采用L-C串联谐振的恒流充电电路与大功率金属氧化层半导体场
本文以芒果残次果为原料,在常温条件下,研究了超声波、微波和真空三种渗糖处理方式对芒果果脯色泽、质地、复水率、总糖含量以及对芒果组织细胞的影响。结果表明;真空渗糖方
简述了国内外切割设备的最高水平和发展趋势 ,比较了国内与国外切割设备的差距及我国切割设备发展中存在的问题 ,提出了面对WTO发展我国切割设备应采取的措施和对策。