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论文采用X射线衍射实验研究了粉末晶体硅在10 K到300 K温度下的晶体结构变化,通过RIETAN-2000程序对实验结果进行了Rietveld分析,得到了不同温度下晶体结构参数以及原子热振动各向同性温度因子.利用MEM解析方法获得了硅晶体的等高电子密度分布图谱,实现了等高电子密度分布3D和2D的可视化.