【摘 要】
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介绍了微磨料水射流技术及其在半导体制造工艺中的应用。在分析研究微磨料水射流技术国内外发展基础上,提出了微磨料水射流的产生方法及关键技术。对增压发生器的压力、喷嘴
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介绍了微磨料水射流技术及其在半导体制造工艺中的应用。在分析研究微磨料水射流技术国内外发展基础上,提出了微磨料水射流的产生方法及关键技术。对增压发生器的压力、喷嘴直径、微磨料粒子的精度、浆液磨料制备方法、浆液磨料的输送及质量流量的控制、工作平台的运动精度等关键技术进行了分析讨论。研究表明,为了产生射束直径100μm以下的微磨料水射流,必须采用湿式磨料,同时完全避免空气进入。采用300 nm至8μm氧化铝浆液磨料和Φ40-50μm喷嘴,应用运载方法可以产生束径达Φ40-50μm级的微细加工磨料水射流。在同样水压力下,其切割的能量密度是普通磨料水射流的4~5倍。微磨料水射流在半导体材料加工、微型电子机械系统制造以及光学器件生产上具有广阔应用前景。
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