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IBM科学家日前公开展示了一种大有希望的实用技术，该技术能有效消除扫描探针技术中使用的纳米针尖的机械磨损。此一发现将有助于开发出下一代更为先进的计算机芯片，使芯片具有更高性能和更小体积。以扫描探针为基础的工具可超越目前生产和表征工具的可能极限，扩展其测量能力、质量和精度。
清除纳米级机械磨损方法
【摘 要】
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IBM科学家日前公开展示了一种大有希望的实用技术，该技术能有效消除扫描探针技术中使用的纳米针尖的机械磨损。此一发现将有助于开发出下一代更为先进的计算机芯片，使芯片具有
【出 处】
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光学精密机械
【发表日期】
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2009年3期
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