【摘 要】
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采用随机数的方法,发展了一种普适的多层膜设计方法,这种方法除可设计一 般的周期多层膜,更重要的是它可以根据选定的评价因子,设计不同要求的非周期多层膜.用磁控溅射方法完
【机 构】
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同济大学,物理系,上海,200092
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采用随机数的方法,发展了一种普适的多层膜设计方法,这种方法除可设计一 般的周期多层膜,更重要的是它可以根据选定的评价因子,设计不同要求的非周期多层膜.用磁控溅射方法完 成软X射线多层膜制备,X射线衍射、卢瑟福背散射、俄歇电子谱和反射率的相对测试用来表征多层膜结构和特性,所 得结果说明多层膜的结构完整,周期参数正确.用离子束溅射方法成功地制备了有一定反射率和透过率的软X射线 半反半透分束镜;分析了Ag和Zr衰减膜中的杂质含量与分布及其对衰减膜特性的影响,并对衰减系数进行了修正,为实验提供优质的衰减膜.rn
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