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钪是位于周期表中第四周期第1IIB族的稀土元素，由于富含钪的矿物稀少，使得钪及其化合物的价格昂贵，但由于钪及其化合物在冶金、化工、照明和发电、电子学和电工技术，尤其在能源和放射化学方面起到了举足轻重的作用，白20世纪以来，对钪的相关性能的研究受到了越来越多的研究者的青睐和重视，其中，对Sc膜的研究尤其重要。通过对不同工艺条件下制备的Sc膜微观结构进行分析后发现。