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<正> 微波测量有一系列特点,这些特点使微波测量划归为一个独立的范畴。宽频段(0.5~1000GHz)、大量的被测参数(30~100个)以及被测参数的多种多样性便提出了内容丰富的计量问题,并决定了微波测量有大的工作量:测量、试验和调整的工作量占制造现代微波器件总工作量的20%~30%。在微波电真空器件和机电产品的现代生产中,工艺监测的重心已转移到器件制造的早期阶段,即对工艺过程、传能体、