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用离子自组装成膜技术制备了用作光波导器件的TiO2/SiO2复合薄膜,介绍了薄膜光学常数的测定方法,并研究了光波导的波导特性.结果表明随着TiO2含量的增大,光波导的折射率增加;但同时光波导损耗也将发生变化,一般TiO2占10%时,薄膜的波导损耗较低.在更高的含量范围内,必须使TiO2分散.