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报告了在离子注入机控制软件建模时使用状态机的原因，以及控制软件的结构、状态机的层次结构和由状态机自动生成代码的方法，并介绍了应用状态机设计开发的离子注入机控制软件的优点。
状态机在离子注入机中的应用
【摘 要】
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报告了在离子注入机控制软件建模时使用状态机的原因，以及控制软件的结构、状态机的层次结构和由状态机自动生成代码的方法，并介绍了应用状态机设计开发的离子注入机控制软件的
【机 构】
：
中国电子科技集团公司电子第四十八研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2009年9期
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