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力平衡微机械真空传感器采用ｐ＾＋＋硅自停止腐蚀技术和硅／玻璃键合技术制作，为了保持参考腔处在高真空状态，使用非蒸散吸气剂来吸附参考腔中的残余气体。研制了两种结构新型力平衡真空传感器，结果表明，采用力平衡模式工作可以扩展传感器的动态范围，灵敏度高。对力平衡电压与真空度的关系进行了研究，理论值与实测值符合得非常好。