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期刊论文
层板喷注器光刻工艺技术研究
层板喷注器光刻工艺技术研究
来源 :火箭推进 | 被引量 : 0次 | 上传用户:eagleqizha
【摘 要】
:
本文论述了为研制液体火箭发动机关键件-层板喷注器而采用的光刻工艺技术.本工艺技术是一种交叉性的边缘学科,是微电子领域的光刻技术与精密微机械加工技术相结合的典范,属超
【作 者】
:
宁建华
【机 构】
:
中国航天科技集团公司第十一研究所
【出 处】
:
火箭推进
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
液体火箭发动机
层板喷注器
光刻
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本文论述了为研制液体火箭发动机关键件-层板喷注器而采用的光刻工艺技术.本工艺技术是一种交叉性的边缘学科,是微电子领域的光刻技术与精密微机械加工技术相结合的典范,属超精加工.
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