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期刊论文
硅中氧行为研究的新进展
硅中氧行为研究的新进展
来源 :上海有色金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaogege0451
【摘 要】
:
本文根据硅片表层器件有源区中的缺陷对器件性能有着严重的影响,以及在制备器件时会引入的杂质和缺陷的事实,提出了使用内吸除技术来改进硅材料与器件的质量,并对与内吸除有关的
【作 者】
:
胡才雄
夏锦禄
张建宇
【机 构】
:
上海有色金属研究所
【出 处】
:
上海有色金属
【发表日期】
:
1995年01期
【关键词】
:
硅
氧行为
缺陷
吸除技术
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本文根据硅片表层器件有源区中的缺陷对器件性能有着严重的影响,以及在制备器件时会引入的杂质和缺陷的事实,提出了使用内吸除技术来改进硅材料与器件的质量,并对与内吸除有关的因素,即硅中氧行为,如硅中氧施主、氧沉淀及其衍生缺陷、硅片中的吸净层、硅片中的氧与翘曲的成因机制等,作了概要介绍。
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