论文部分内容阅读
本文根据硅片表层器件有源区中的缺陷对器件性能有着严重的影响，以及在制备器件时会引入的杂质和缺陷的事实，提出了使用内吸除技术来改进硅材料与器件的质量，并对与内吸除有关的因素，即硅中氧行为，如硅中氧施主、氧沉淀及其衍生缺陷、硅片中的吸净层、硅片中的氧与翘曲的成因机制等，作了概要介绍。
硅中氧行为研究的新进展
【摘 要】
：
本文根据硅片表层器件有源区中的缺陷对器件性能有着严重的影响，以及在制备器件时会引入的杂质和缺陷的事实，提出了使用内吸除技术来改进硅材料与器件的质量，并对与内吸除有关的
【机 构】
：
上海有色金属研究所
【出 处】
：
上海有色金属
【发表日期】
：
1995年01期
其他文献
目的:采用星点设计-效应面法优化穿心莲提取物-β-环糊精(β-CD)包合物的制备工艺。方法:采用超声法制备穿心莲提取物-β-CD包合物,以包合率为评价指标,采用星点试验考察β-C
我国目前的警察教育基本上是计划经济体制的产物,造成这种局面的主要原因在于办学定位的偏颇。警察教育符合现代职业教育的基本属性,应当是具有一定特殊性的职业教育。上海试
在二维Otsu自适应阈值分割算法的基础上提出了一种改进的自适应阈值分割算法。这种改进算法由于充分考虑了图像二维直方图中象素灰度值及其邻域平均灰度值比较接近的区域而获
目的:建立了不同产地及不同炮制品连翘中咖啡酸、连翘酯苷A、连翘苷、牛蒡苷元四种成分的HPLC测定方法。方法:采用反相高效液相色谱法,Agilent Eclipse XDB-C18(4.6 mm×250
详细论述了仲醇乙氧基化物(SAE)的生产工艺,并说明了其化学特性及物理性质.文中还将SAE的性能与非离子表面活性剂伯醇乙氧基化物(PAE)、壬基酚乙氧基化物(NPE)及阴离子表面活
现代意义上的医疗保障是工业社会转型的产物,它是由政府为社会成员的疾病医疗、健康关怀提供必要的保障,使民众能够积极应对疾病风险,防止因病致贫和因病返贫,促进社会和谐发
由于不可再生能源资源的稀缺性,现在开发能源资源对未来使用者福利和经济可持续发展都有影响。本文采用ElSerafy的使用者成本法对中国油气资源耗减的估计结果说明,在近几年加
机器视觉识别技术具有非接触、效率高、精度高、在线实时性等优点,对提高生产的柔性和自动化程度有重要作用,是实现现代集成制造技术的基础。本文在分析了机器视觉在现代生产