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<正> 1 概述本文介绍一种在同一块掩模板上制作多个掩模工程的新型掩模板设计方法-MLM(Multi-Layer Mask)。该方法可以实现集成电路开发设计中,掩模板制作费用的大幅下降,极大地降低集成电路产品开发成本。目前由上海华虹NEC电子有限公司提出的该项技术已经获得
一种新型掩模板设计方法
【摘 要】
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<正> 1 概述本文介绍一种在同一块掩模板上制作多个掩模工程的新型掩模板设计方法-MLM(Multi-Layer Mask)。该方法可以实现集成电路开发设计中,掩模板制作费用的大幅下降,极
【机 构】
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上海华虹NEC电子有限公司Foundry部
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2003年7期
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