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<正> 日本神川县工业试验所采用高频率激励法和直流传感的复合方式建立起氮化物系新型陶瓷薄膜的制造技术,用这种复合方式在反应时可以得到离子化程度高的等离子,能较容易地获得作为氮化物薄膜之一的氮化钛,和以往膜
氮化物系新型陶瓷薄膜
【摘 要】
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<正> 日本神川县工业试验所采用高频率激励法和直流传感的复合方式建立起氮化物系新型陶瓷薄膜的制造技术,用这种复合方式在反应时可以得到离子化程度高的等离子,能较容易地
【出 处】
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建材工业信息
【发表日期】
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1984年07期
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