重审运动学低能电子衍射方法和Si(001)2×1结构

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiao959907530
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本文通过将KLEED/OED方法应用于重构很深,很复杂的表面结构Si(001)2×1 的许多结构模型,探讨了此方法在解决复杂表面结构上的潜力.得出的结论是肯定的. In this paper, the KLEED / OED method is applied to reconstruct many structural models of deep and complex surface structure Si (001) 2 × 1, and the potential of this method to solve complex surface structure is discussed. The conclusion is affirmative of.
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