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伴随着航空航天工业、国防工业、微机械工业、现代高精度医学以及生物工程的发展,精密微小零件的需求也随之越来越多。微小零件和相配套的微型装置设备的结构形状特异、材料特异、尺寸及表面质量高精度化,从而在材料的物理化学特性、结构功能及质量的可靠性等方面也有着越来越高的要求。本文针对超精密微机械制造技术,简单的做出了介绍,并描述了国内外的研究现状以及未来的发展趋势。