【摘 要】
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<正> 1.前言首先对本文使用的“超硬膜”的定义说明一下。笔者在这里考虑的超硬质膜是比现在广泛用于涂覆刀具的 TiN 硬质膜(TiN 的硬度是 HV1950左右)还要硬的薄膜。具体的
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<正> 1.前言首先对本文使用的“超硬膜”的定义说明一下。笔者在这里考虑的超硬质膜是比现在广泛用于涂覆刀具的 TiN 硬质膜(TiN 的硬度是 HV1950左右)还要硬的薄膜。具体的说就是硬质金刚石膜(硬度难以计测在 HV10,000以上),CBN(立方氮化硼,HV5,000～6,000)和 DLC(类金刚石的碳 Diamond Like Carbon,HVmax 4,000～5,000)的膜。现在,这些超硬膜中的金刚石膜、DLC 膜已达到成膜不甚困难的水平。但 CBN 膜只能勉强成膜。
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