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对直线电机驱动的两维大范围、高速、精密二维定位平台进行了总体设计，然后对导轨、直线电机和测量反馈系统进行了选型与计算，最后分析了二维定位平台的定位精度。样机测试结果表明，该平台在XY两个方向的定住精度基本满足设计要求，为系统标定与误差补偿提供了参考。
直线电机驱动二维精密定位平台的设计研究
【摘 要】
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对直线电机驱动的两维大范围、高速、精密二维定位平台进行了总体设计，然后对导轨、直线电机和测量反馈系统进行了选型与计算，最后分析了二维定位平台的定位精度。样机测试结果
【机 构】
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榆林学院能源工程学院
【出 处】
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装备制造技术
【发表日期】
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2012年9期
【基金项目】
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榆林学院高层次人才科研启动基金项目（08GK037）
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