Preparation of TiAlN/ZrN and TiCrN/ZrN multilayers by RF magnetron sputtering

来源 :中国有色金属学会会刊：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：w633744

【摘要】

：

切工具上的基于钛的氮化物涂层，出版社塑造并且死因为他们的优异腐蚀和氧化电阻，能被用来延长他们的生命周期。TiAlN/ZrN 和 TiCrN/ZrN 多层的涂层被 RF 磁控管在热处理期间劈

【作者】

：

Jong-Kook LEE Gwon-Seung YANG

【机构】

：

DepartmentofAdvancedMaterialsEngineering,BK21EducationCenterofMouldTechnologyforAdvancedMaterialsand

【出处】

：

中国有色金属学会会刊：英文版

【发表日期】

：

2009年4期

【关键词】

：

射频磁控溅射溅射制备氮化锆多层膜钛铝耐腐蚀性腐蚀电流密度 TiCrN/ZrN TiAlN/ZrN multilayer coating RF

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切工具上的基于钛的氮化物涂层，出版社塑造并且死因为他们的优异腐蚀和氧化电阻，能被用来延长他们的生命周期。TiAlN/ZrN 和 TiCrN/ZrN 多层的涂层被 RF 磁控管在热处理期间劈啪作响，和他们的微结构进化和腐蚀电阻准备被调查。TiAlN/ZrN 和 TiCrN/ZrN 多层的涂层被加热直到 600 降级 ? 慣汬摥琠? 桴 ? 慢？

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