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数值分析渐变DBR对垂直腔面发射激光器谐振腔模的影响

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ernest5

【摘 要】

：

通过数值分析研究了含线性渐变层的Al0.9Ga0.1，As／AlyGa1-yAs／GaAs／AlxGa1-x，As DBR的光学特性及其对VCSEL谐振腔光学特性的影响，建立了渐变型DBR渐变层厚度与折射率的关系，通过特征

【作 者】

：

王小东 吴旭明 王青 曹玉莲 何国荣 谭满清 

【机 构】

：

中国科学院半导体研究所

【出 处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2006年11期

【关键词】

：

垂直腔面发射激光器 DBR 反射谱 反射相移 特征矩阵法 VCSEL DBR reflectance spectrum reflective phase shi 

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通过数值分析研究了含线性渐变层的Al0.9Ga0.1，As／AlyGa1-yAs／GaAs／AlxGa1-x，As DBR的光学特性及其对VCSEL谐振腔光学特性的影响，建立了渐变型DBR渐变层厚度与折射率的关系，通过特征矩阵法计算了突变GaAs／Al0.9Ga0.1，AsDBR和渐变型DBR的反射谱和反射相移，分析了渐变层对DBR反射率和反射相移的影响．对渐变型DBR，要使VCSEL谐振腔满足中心波长相位匹配条件，还需要在DBR靠近谐振腔一侧的最前面增加一定厚度的渐变层，称为相位匹配层．通过计算，我们得

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