【摘 要】
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为了研究脆性单晶材料单晶硅（111）晶面微观机械特征，应用分子动力学，对压痕过程进行仿真分析．本文应用平均势能和径向分布函数相结合方法对压痕过程进行考察．仿真结果表明，工件在压
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（50675050）
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为了研究脆性单晶材料单晶硅（111）晶面微观机械特征，应用分子动力学，对压痕过程进行仿真分析．本文应用平均势能和径向分布函数相结合方法对压痕过程进行考察．仿真结果表明，工件在压头附近的晶格结构发生变化．在仿真过程中通过确定工件内部的分界线来表明住错传播运动；在压痕结束后工件自身弛豫过程变形区域弹性恢复大约27％．应用Hysitron公司的Triboindenter纳米原位压痕仪进行压痕实验，并把实验得到的材料压痕折合模量与分子动力学仿真计算结果进行比较，结果表明仿真的误差率小于31％．
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