微型薄板直线压电电机的设计与性能研究

来源 :南昌航空大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:zcat16
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设计了一种微型直线压电电机.该压电电机由U形开口的矩形薄板定子和U形碟簧动子组成.电机采用两个正交的面内一阶弯振和面外一阶弯振作为工作模态,以降低驱动频率减小损耗.通过多物理场有限元仿真软件COMSOL对电机进行模态分析和参数优化.定子采用激光加工方法以减小误差,其尺寸为6 mm×7 mm×0.8 mm,质量仅0.21 g.载荷实验结果表明:在200 Vp-p,频率20.06 kHz,相位差90°的双相正弦电压激励下可提供最大45 mm/s的速度以及5.3 mN的输出力.该电机体积小,质量轻,在微纳卫星等空间高性能需求设备中具有巨大的潜在应用价值.
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向传统化学镀金液中添加一种含羟基和有机膦混合缓蚀剂A,研究了其对镍层的缓蚀作用、镀速、镀金层耐蚀性和镀金层附着力的影响.结果表明:镀金液中添加该缓蚀剂后,对沉积过程的镀速无较大影响.所得镀件镍层腐蚀深度从1.85μm降到接近0μm,缓蚀率接近100%.镀金液中随着缓蚀剂A添加量的增加,镀金层附着力明显提升,拉脱强度最大可提高73.37%.此外,添加缓蚀剂后所得镀金层耐蚀性也显著提升,所得镀金层表面无明显孔洞、裂纹,镀层致密且平整.
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