【摘 要】
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简要介绍用于 MENs和微电子标准的纳米计量技术 ,并对其发展提出建议。
Briefly introduce nano-metrology techniques for the MENs and microelectronics standards and m
【机 构】
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中国计量科学研究院,中国计量科学研究院,中国计量科学研究院,中国计量科学研究院
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简要介绍用于 MENs和微电子标准的纳米计量技术 ,并对其发展提出建议。
Briefly introduce nano-metrology techniques for the MENs and microelectronics standards and make recommendations for their development.
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