Novel Nano-scale Overlay Alignment Method for Room-temperature Imprint Lithography

来源 :半导体光子学与技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jincast

【摘要】

：

A novel nano-scale alignment technique based on Moiré signal for room-temperature imprint are used to estimate the alignment errors in x and y directions.

【作者】

：

WANG Li DING Yu-cheng LU Bing-

【机构】

：

TheStateKeyLabofManufactur.Syst.Eng.

【出处】

：

半导体光子学与技术：英文版

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

平版印刷术光栅纳米技术波纹信号空间温度 Imprint lithography Grating Nano-scale alignment Moir

【基金项目】

：

国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)，国家重点基础研究发展计划(973计划)

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A novel nano-scale alignment technique based on Moiré signal for room-temperature imprint are used to estimate the alignment errors in x and y directions. The experiment result indicates that complex and the alignment resolutions obtained in x and y

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