【摘 要】
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以98：2（质量比）的ZnO—A2O4混合粉体为原料热压制备AZO靶材。通过阿基米德排水法测定试样密度，XRD分析物相组成，TEM观察靶材的微观结构，研究靶材热压致密化和Al元素扩散的规律。结
【机 构】
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北京有色金属研究总院稀有金属与冶金材料研究所
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以98：2（质量比）的ZnO—A2O4混合粉体为原料热压制备AZO靶材。通过阿基米德排水法测定试样密度，XRD分析物相组成，TEM观察靶材的微观结构，研究靶材热压致密化和Al元素扩散的规律。结果表明：Al元素在未经煅烧的原料粉中以A2O4的形式存在；而在煅烧处理后的粉末中，Al元素部分扩散进入了ZnO的晶格中，导致其层状属性c／a值的减小，另一部分A1元素由于固溶度的限制形成ZnAl2O4尖晶石。在热压温度为1000℃时，未经煅烧的原料粉中A2O4与ZnO发生反应生成ZnA2O4；而煅烧处理后的粉末在10
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