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高能粒子辐射直拉硅中辐照缺陷的控制
高能粒子辐射直拉硅中辐照缺陷的控制
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:DisSmile
【摘 要】
:
受高能粒子辐射,在直拉硅中会产生各种辐照缺陷,对硅及硅基器件的性能产生不利的影响,对辐照缺陷的控制可以增加硅的辐照稳定性。
【作 者】
:
裴志军
【机 构】
:
电子46所
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
直拉硅
辐照缺陷
辐照稳定性
CZ SiRadiation defectRadiation stability
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受高能粒子辐射,在直拉硅中会产生各种辐照缺陷,对硅及硅基器件的性能产生不利的影响,对辐照缺陷的控制可以增加硅的辐照稳定性。
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