【摘 要】
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简要介绍了电子工业用超高纯过氧化氢(H2O2)水溶液的应用和规范。综述了通过超滤法、冷冻结晶法、萃取法、反渗透膜法、吸附法、蒸馏法和树脂法精制H2O2水溶液的工艺及其优缺
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简要介绍了电子工业用超高纯过氧化氢(H2O2)水溶液的应用和规范。综述了通过超滤法、冷冻结晶法、萃取法、反渗透膜法、吸附法、蒸馏法和树脂法精制H2O2水溶液的工艺及其优缺点。指出当前H2O2水溶液精制技术的发展趋势是将上述单一方法进行集成,同时重点介绍了用多种单元操作相集成来制备电子工业用超高纯H2O2水溶液的工艺。
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