【摘 要】
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随着半导体芯片行业的迅速发展,对电子气体的要求也逐渐提高.半导体加工环境中的痕量水分会严重影响芯片的良率和可靠性.光腔衰荡光谱法是近年来发展的一种具有高灵敏度和准确性的痕量气体测量方法,线形强度是光谱法测量的重要参数.为测量痕量水分,建立了一套光腔衰荡光谱系统,测量了中心频率在7171.10491 cm-1和7177.6565 cm-1的吸收光谱,通过HTP(Hartmann-Tran profile)线形拟合得到线形强度,测量结果的相对标准不确定度优于1.8％,与HITRAN、HITEMP和GEISA数
【机 构】
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中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018;中国计量科学研究院热工计量科学研究所,北京100029;郑州计量先进技术研究院,河南郑州450001;郑州计量先进技术研究院,河南郑州450001;
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随着半导体芯片行业的迅速发展,对电子气体的要求也逐渐提高.半导体加工环境中的痕量水分会严重影响芯片的良率和可靠性.光腔衰荡光谱法是近年来发展的一种具有高灵敏度和准确性的痕量气体测量方法,线形强度是光谱法测量的重要参数.为测量痕量水分,建立了一套光腔衰荡光谱系统,测量了中心频率在7171.10491 cm-1和7177.6565 cm-1的吸收光谱,通过HTP(Hartmann-Tran profile)线形拟合得到线形强度,测量结果的相对标准不确定度优于1.8％,与HITRAN、HITEMP和GEISA数据库比较,相对偏差小于6％.
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目的:报道合并阻塞性冠状动脉疾病的冠状动脉微血管疾病（coronary microvascular disease, CMVD) 1例，并回顾文献总结诊治经验。病例介绍:患者男性，55岁，因“发作性胸骨后疼痛3个月余，加重10 d”于2019年6月28日入住山东大学齐鲁医院心内科。确诊为“冠心病，不稳定型心绞痛，心功能纽约心脏病协会分级Ⅰ级，高血压病（2级，很高危）”。经冠状动脉造影证实，患者左前降支开口处重度狭窄（狭窄90%），其他心外膜冠状动脉多处轻度狭窄，于左前降支（left anterior de
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