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介绍了MEMS技术及其发展现状，介绍了MEMS技术在计量仪器中的应用及发展前景。
微机电系统在计量领域的应用
【摘 要】
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介绍了MEMS技术及其发展现状，介绍了MEMS技术在计量仪器中的应用及发展前景。
【机 构】
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中国能源建设集团江苏省电力建设第三工程公司
【出 处】
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仪器仪表与分析监测
【发表日期】
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2013年3期
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