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利用带分子束装置的飞行时间质谱技术研究了激光溅射金属Ｔｉ原子与ＣＦ４、ＣＦ３Ｂｒ、ＣＦ３Ｃｌ、ＣＣｌ４的气相反应，激光电离飞行时间质谱检测结果表明，Ｔｉ原子与前３氟的卤代甲烷反应只生成ＴｉＦ，而与ＣＣｌ４反应时则生成了ＴｉＣｌ，可认为这类反应是通过电子转移机理进行的，Ｔｉ原子与三氟卤代甲烷反应时先形成「Ｔｉ＾＋…Ｆ＾－－ＣＦＸ」离子对中间体，然后生成产物ＴｉＦ。