荷能团簇碰撞沉积装置中飞行时间质谱仪的物理设计

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介绍了荷能团簇飞行时间质谱仪的原理及其在荷能团簇碰撞沉积装置中的物理设计。对实验中出现的若干问题进行了探讨,并提出了解决的措施。
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