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荷能团簇碰撞沉积装置中飞行时间质谱仪的物理设计
荷能团簇碰撞沉积装置中飞行时间质谱仪的物理设计
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sdlzwzl
【摘 要】
:
介绍了荷能团簇飞行时间质谱仪的原理及其在荷能团簇碰撞沉积装置中的物理设计。对实验中出现的若干问题进行了探讨,并提出了解决的措施。
【作 者】
:
俞国庆
石瑛
【机 构】
:
中国科学院上海原子核研究所
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
1999年12期
【关键词】
:
飞行时间质谱仪
荷能团簇
碰撞沉积
物理设计
Time-of-flight
Energetic cluster impact deposition
Phys
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介绍了荷能团簇飞行时间质谱仪的原理及其在荷能团簇碰撞沉积装置中的物理设计。对实验中出现的若干问题进行了探讨,并提出了解决的措施。
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