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ARC工艺技术研究
ARC工艺技术研究
来源 :电子与封装 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ytmbg163
【摘 要】
:
本文介绍了应用于金属互联工艺的ARC(抗反射层或防反射层)技术.通过对抗反射层基本原理的说明,结合工艺实验,深刻地理解ARC技术.最后给出了可以用于0.5μm工艺生产的ARC结构
【作 者】
:
温万良
周林
【机 构】
:
无锡微电子科研中心二室
【出 处】
:
电子与封装
【发表日期】
:
2002年5期
【关键词】
:
ARC
光刻
抗反射
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本文介绍了应用于金属互联工艺的ARC(抗反射层或防反射层)技术.通过对抗反射层基本原理的说明,结合工艺实验,深刻地理解ARC技术.最后给出了可以用于0.5μm工艺生产的ARC结构及用于衡量ARC性能的参数.
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