保护层Ag对Ag／TbFeCo光学性质的影响

来源 :西南科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhwa

【摘要】

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磁光记录介质非晶稀土-过渡金属合金TbFeCo薄膜覆盖Ag保护层可减小稀土元素的氧化且能增强其磁光克尔效应。利用直流磁控溅射法制备出Ag／TbFeCo／Si（100）磁光薄膜，利用可变入射角椭

【作者】

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余平任雪勇梁艳曾武贤张晋敏

【机构】

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贵州大学电子科学与信息技术学院电子科学系

【出处】

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西南科技大学学报

【发表日期】

：

2007年1期

【关键词】

：

磁光薄膜椭偏光谱磁控溅射 AG magneto-optical films spectroscopic ellipsometry magnetron

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磁光记录介质非晶稀土-过渡金属合金TbFeCo薄膜覆盖Ag保护层可减小稀土元素的氧化且能增强其磁光克尔效应。利用直流磁控溅射法制备出Ag／TbFeCo／Si（100）磁光薄膜，利用可变入射角椭圆偏振光谱仪测量了其可见光区的光学常数，给出薄膜介电函数实部和虚部随入射光子能量的变化规律，同时把Ag/Si、Ag／TbFeCo／Si和TbFeCo／Si的光谱进行了比较。实验结果与经典的Drude模型相一致，而且Ag／TbFeCo／Si的光谱更接近Ag。不同厚度Ag／TbFeCo／Si薄膜其光学参数变化趋势相同，且

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