【摘 要】
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无掩模光刻技术因其无需物理掩模、成本低、适合大批量生产的优点，在微结构制作中具有广泛的应用。基于数字微镜器件（DMD）的无掩模数字光刻技术具有分辨率高、灵活性好、加工精度高等优势，成为近年来数字光刻领域的研究热点。本文综述了DMD数字光刻技术的研究进展，包括基于DMD扫描光刻、步进式光刻以及灰阶光刻，介绍了该方法在集成电路、微光学、3D打印等领域的应用，并对DMD数字光刻技术当前存在的问题进行了总
【基金项目】
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安徽省自然科学基金（2008085QE258,1808085QA12,1808085ME117）； 安徽省自然科学重点研究项目（KJ2019A0156）； 安徽工程大学增材制造研究项目（2020ybxm08）;安徽工程大学人才引进科研基金（2018YQQ027）；
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无掩模光刻技术因其无需物理掩模、成本低、适合大批量生产的优点，在微结构制作中具有广泛的应用。基于数字微镜器件（DMD）的无掩模数字光刻技术具有分辨率高、灵活性好、加工精度高等优势，成为近年来数字光刻领域的研究热点。本文综述了DMD数字光刻技术的研究进展，包括基于DMD扫描光刻、步进式光刻以及灰阶光刻，介绍了该方法在集成电路、微光学、3D打印等领域的应用，并对DMD数字光刻技术当前存在的问题进行了总结以及对其未来发展趋势进行了展望。
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