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第1期（总第152期） 相移掩模和光学邻近效应校正光刻技术………………………………………… 冯伯儒，张 锦，侯德胜，周崇喜，苏 平(1) 纯角度跟踪的球面坐标降维算法…………………………………………………………………… 胡磊力，陈钰清，邹盛怀(6) 电子束反应蒸发氧化物
Phase 1 Mask (Phase 152) Phase Correction Mask and Optical Proximity Correction Photolithography .................................................... ) Pure Angle Tracking Spherical Coordinate Dimensionality Reduction Algorithm ................................................................................................................................................................................................................................