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采用一种改进的液相成膜技术——连续离子层吸附与反应（SILAR）法，用锌氨络离子[Zn（NH3）4]^2＋溶液作为独立的前驱体溶液，以载玻片为衬底，在（125±5）℃的温度下沉积出致密、透明的ZnO薄膜。分别用冷场发射型扫描电镜（FESEM）和X射线衍射（XRD）分析了薄膜样品的表面形貌和结晶状态，用紫外-可见分光光度计（UV—Vis spectroscopy）研究了薄膜样品的发光性能。结果表明：获得样品为六角纤锌矿结构的多晶薄膜材料沿[002]方向择优生长；样品表面均匀、致密，厚度约为550n