【摘 要】
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介绍一种高精密、高稳定、线性度佳、结构简单的新型电容式蓝宝石压力传感器。以圆形C面（0001）取向蓝宝石片作为压力传感器的膜片和基片，并且采用两种方案改善普通电容式蓝宝石
【机 构】
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国电子科技集团公司第四十九研究所,中国人民解放军95862部队
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介绍一种高精密、高稳定、线性度佳、结构简单的新型电容式蓝宝石压力传感器。以圆形C面（0001）取向蓝宝石片作为压力传感器的膜片和基片，并且采用两种方案改善普通电容式蓝宝石压力传感器的非线性特性。第一种方法是在一个基片中央区电极内制作一个圆形无金属电极区（圆形无电极区的直径与中央区电极的直径具有特定比率），提高线性度，改善灵敏度的一致性，但是它以降低传感器的灵敏度为代价的；第二种方法是在圆形基片表面中央区加工一个半球形凹槽，并且在该下凹区内不制作金属电极，能够牺牲很小的灵敏度或不降低灵敏度，换取较大的线性度
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