ITO/Ag/AgNW新型复合透明导电薄膜性能研究

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ice588

【摘要】

：

采用磁控溅射和湿法涂布技术制备了一种ITO/Ag/AgNW结构的新型复合透明导电薄膜。研究其光学、电学等性能发现: ITO/Ag/AgNW薄膜在400~700nm的平均透过率高于ITO/Ag/ITO薄膜, 且方块电阻远小于ITO/Ag/ITO薄膜, 达到6.9Ω/□; 耐弯折性能测试后, 其方块电阻约增加62%, 达11.2Ω/□。研究结果表明, 这种新型的复合透明导电薄膜具有低阻、高透及耐弯折良好的特性, 在柔性显示领域具有一定的应用潜力。

【作者】

：

张晓东魏葳杨钊陈微微黄林泉田占元

【机构】

：

陕西煤业化工技术研究院有限责任公司,西安710065

【出处】

：

半导体光电

【发表日期】

：

2019年40期

【关键词】

：

透明导电膜 ITO/Ag/AgNW 导电性柔韧性 transparent conductive film ITO/Ag/AgNW conductivity f

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