【摘 要】
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以微机械为应用背景,采用准分子激光加工方法对Al2O3陶瓷材料表面进行加工,考察加工表面的形貌特征.研究表明,准分子激光加工表面形貌的统计参数具有显著的规律性.其高度参数
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(50275071);国家自然科学基金重点项目(50135040);江西省自然科学基金项目(0250018)资助
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以微机械为应用背景,采用准分子激光加工方法对Al2O3陶瓷材料表面进行加工,考察加工表面的形貌特征.研究表明,准分子激光加工表面形貌的统计参数具有显著的规律性.其高度参数的算术平均值Ra和均方根值Rq随工艺参数呈现同步同趋势变化的规律,并且相互之间具有定量的关系.对此本文提出了准分子激光加工表面轮廓的简化模型,分析计算的结果与实测数据基本吻合.研究还表明,准分子激光加工表面相当平坦,其坡度均方根值Z ·q随工艺参数的变化不大.上述特征是由准分子激光加工原理决定的,与通常的切削加工截然不同.
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