【摘 要】
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利用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备了ZnO薄膜,通过测量样品的透射谱、X射线衍射谱、扫描电子显微镜（SEM）图像和光致发光谱研究了其结构特征和发光性质.结果表明：在衍射角2θ=34.3
【机 构】
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海南师范大学物理系,海口科宇电子设备厂
【基金项目】
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海南省自然科学资金资助项目（琼科200437）
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利用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备了ZnO薄膜,通过测量样品的透射谱、X射线衍射谱、扫描电子显微镜（SEM）图像和光致发光谱研究了其结构特征和发光性质.结果表明：在衍射角2θ=34.32°处出现了对应（002）晶面的强衍射峰,ZnO膜呈多晶状态,具有六角纤矿晶体结构和良好的C轴择优取向,薄膜中颗粒的平均粒径为56nm;光致发光呈多发光峰状,有中心波长为378nm的紫带,520nm绿带,446nm附近的蓝带以及发现未见报道过的绿带以后中心波长为586nm和570nm两个弱发射峰.实验结果表明,制备的
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