【摘 要】
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铁电材料在铁电动态随机储存器、铁电场效应晶体管、铁电隧穿结和负电容器件等领域得到研究者的广泛关注.近年来,铁电二氧化铪(HfO2)材料由于具有CMOS兼容性、高介电常数、宽
【机 构】
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电子科技大学电子科学与工程学院,中国科学院微电子研究所
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铁电材料在铁电动态随机储存器、铁电场效应晶体管、铁电隧穿结和负电容器件等领域得到研究者的广泛关注.近年来,铁电二氧化铪(HfO2)材料由于具有CMOS兼容性、高介电常数、宽带隙等特点成了研究热点.该文使用脉冲激光沉积技术制备了钇掺杂铁电二氧化铪(HYO)并研究了其铁电和疲劳特性,指出薄膜的疲劳是由束缚在浅势阱中的注入载流子造成的畴壁钉扎效应引起.进一步研究了60 Coγ射线对HYO薄膜铁电存储性能的影响,发现薄膜的抗辐照能力优于传统的铁电材料.最后,研究了基于HYO薄膜的非线性光学效应,计算出的HYO薄膜
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