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以H2和反式-2-丁烯（T2B）为工作气体，利用低压等离子体增强化学气相沉积法制备了α-C：H薄膜。采用原子力显微镜、扫描电镜测试了α-C：H薄膜的表面形貌，分析了实验参数对其形貌的影响。研究表明：固定压强（15Pa），当T2B／H2流量比为4时，薄膜均方根粗糙度可达0．97nm。保持T2B／H2流量比固定，增加工作气压，薄膜均方根粗糙度减小，表面更平整、致密。利用傅里叶变换红外光谱仪对薄膜价键结构进行分析，结果表明：α-C：H薄膜中主要存在sp^3C—H键，氢含量较高；T2B／H2流量比越低，薄膜中含有